安装调试阶段是真空镀膜机检漏工作的主体。若设备焊缝的气密性已经通过加工阶段的检漏得以保证，那么在设备安装、调试过程中，检查、保证连接部位的密封性，是检漏工作的重点。包括各个管道、部件间的法兰连接和动密封件等重点可疑部位。若同时对焊缝和连接部位检漏，则检漏的工作量和难度都加大。大型、复杂真空设备最好采用分段检漏，每装上一个部件，便对其连接部位和焊缝进行一次检漏，达到要求后再装下一个部件。因为将所有部件全装配完后再检漏，不仅怀疑部位太多，还可能多个漏孔同时漏气，给总体检漏带来极大困难。

真空设备安装调试过程中的检漏步骤如下：

1、
了解待检设备的结构组成和装配过程。掌握设备的要求，查明需要进行检漏的重点可疑部位。

2、
根据所规定的最大允许漏率以及是否需要找漏孔的具体位置等要求，并从经济、快速、可靠等原则出发，正确选择好检漏方法或仪器，准备好检漏时所需的辅助设备后拟定切实可行的检漏程序。

3、
应对被检件进行好清洁工作，取出焊渣、油垢后再按真空卫生条件进行清洁处理，并予以烘干。对要求高的小型器件。清洁处理后可通过真空烘干箱进行烘烤，进行清洁处理后不但可以避免漏孔不被污物、油、有机溶液等堵塞，而且也保护了检漏仪器。

4、
对所选用的检漏方法和检漏设备进行检漏灵敏度的校准，并确定检漏系统的检漏时间。

5、
若采用真空检漏法时，为了提高仪器的灵敏度，应尽可能将被检件抽到较高真空。

6、
在允许的前提下，应尽可能优先应用较为经济和现场具备条件的检漏方法。

7、
采用氦质谱检漏设备检漏时，对于要求检漏不高的或有大漏产生的被检件时，在检漏初期应尽量用浓度较低的氦气进行检漏，然后再进行小漏孔的检漏，以节约氦气。

8、
对已检出的大漏孔及时进行修补堵塞后再进行小漏孔的检漏。

9、
对检出并修补的漏孔进行一次复查以确保检漏结果达到要求。

       真空镀膜机捡漏环节，是从设计、制造、调试、使用等，各个环节都需要进行的步骤，确一不可。